Tergeo等離子清洗機-主要配置：
| 產品型號： |
Tergeo |
Tergeo Plus |
| 腔室大小： |
內徑φ110mm,深度280mm |
內徑φ160mm,深度280mm |
| 腔室材質： |
高純度石英玻璃，相對於派瑞克斯（Pyrex）玻璃有着更強地耐腐蝕性和更少地碱雜質； |
| 常用氣體： |
空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮氣和其他混合氣體； |
| 氣路控制： |
標配兩路MFC，可選配三路MFC； |
| 射頻頻率： |
13.56 MHz，遠高于同條件下KHz頻率所產生的等離子密度； |
| 射頻功率： |
Tergeo 0~75W連續可調，可選配到150W；
Tergeo Plus標配150W，可選配到300W和500W；
射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調整；
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| 程序設置： |
共有20個可設置的程序配方，工作順序中 有三個清潔步驟。 |
| 用戶界面： |
7英吋電阻觸摸屏，可用手指觸摸，無需手寫筆。 |
| 操作方法： |
自動配方執行：自動工作序列執行;手動操作。 |
Tergeo等離子清洗機-主要用途：
【1】清洗納米級樣品；
【2】蝕刻光刻膠，除渣、硅片清洗；
【3】引線鍵合倒裝芯片底部填充，器件的封裝和解封；
【4】PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗；
【5】改善金屬與金屬或復合材料的結合；
【6】激活聚合物上的官能團，實現親水或疏水潤濕性，提高粘合強度和可印刷性，促進醫療設備的生物相容性。
Tergeo系列等離子清洗機-產品優勢：
【1】外部電極的設計提高等離子體的均勻性；
【2】 的等離子體傳感器技術，用於定量的等離子體強度測量；
【3】直接/浸入模式和遠程/下游等離子體處理模式在一個系統中的應用；
【4】連續和脈衝等離子體可以改變3-4個數量級的清洗速度；
【5】高頻13.56MHz rf電源，具有自動阻抗匹配功能。在相同的額定射頻功率下，MHz等離子體系統的效率比KHz等離子體系統高很多倍；
【6】 的過程控制技術；
【7】質量流量控制器(MFC)調節氣體輸入，而不是手動轉子流量計或粗針閥；
【8】 的數字壓力傳感器用於精確的壓力監測；
【9】全自動化操作，支持20種程序配方；
【10】直觀的電阻式觸摸屏用戶界面；
【11】外部射頻電極和石英室可以消除內部金屬電極的等離子體系統的金屬污染問題；
