Laurell 勻膠旋塗儀

一、Laurell勻膠旋塗儀 650系列 產品特點：

（1）過程控制器：650 系列過程控制器利用強大的微處理器，並使用其隨附的PC軟件，使得在設置和使用時可以非常靈活的進行調整。該控制器允許操作員在流程執行期間實時交互，包括暫停時間、 停止並從這一點繼續。

（2）系統外觀材質：該系統的外殼通常採用的是NPP材質，這種材料能夠抵抗溶劑和強酸、強碱。【選配】特殊的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF housing 外殼可用（常用於高溫化學和亞微米顆粒研究）。

（3）Laurell自有的迷宮式密封可保護電機和控制電子設備免受化學污染。該密封件為工藝腔室提供氮氣吹掃，並且在現場測試期間已被証明在亞微米水平上是無顆粒的。

（4）安全設計：與操作員電氣隔離、門聯鎖以及組件的 UL 和 CSA 認証確保了多年的安全。當真空開關未接合且蓋子打開時，聯鎖可防止旋轉，所有Laurell系統均符合CE和RoHS標準。

（5）過程保障：所有 Laurell 過程控制器的“過程保護"功能可確保同一過程不會無意中在同一基材上運行。可以輕鬆繞過此功能以再次運行相同的進程，而無需打開系統，或者可以在over（循環）上運行序列。

二、Laurell勻膠旋塗儀 650系列 廠務條件：

（1）氣源： 需要 60~70 PSIG （4–5 bar） 的氮氣/CDA 對迷宮式電機密封件加壓。（這種氣體還會吹掃工藝腔室。氣體消耗量非常低，每小時 3 立方英呎。）

（2）真空：建議在 25 英吋汞柱下使用 28–635 英吋（~711–4 毫米）汞柱的真空，流量為 5.0 SCFM（127.0 立方米/分鐘）。

（3）電源：95~240VAC， 47/63HZ， 約300 W；

三、Laurell WS-650Mz-23NPPB 勻膠旋塗儀  技術參數：

（1）腔體尺寸：9.5英吋 (241 毫米)；

（2）Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑圓片，方片125x125mm；

（3）轉動速度：100-12,000rpm；

（4）旋塗加速度：1-12000rpm/sec（空載）；

（5）馬達旋塗轉速：穩定性能誤差<± 1 %；

（6）轉速調節精度：1rpm，重複性1rpm；

（7）工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

（8）勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；

（9）設備控制器：PLC控制，按鍵式操作；

（10）程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態；

（11）高認証：美國國家標準技術研究院（NIST）認証;

（12）配套真空泵系統：無 油 型 220~240伏交流，50/60赫茲；

（13）售后服務：提供上門現場 或 遠程在線 安裝培訓，用戶可靈活選擇；

四、產品應用：

Laurell WS-650 系列通常用於溶劑、碱或 酸基加工：塗層、蝕刻、顯影、漂洗乾燥和 清洗。雖然支持所有這些過程，但由於已知材料，Laurell 建議僅一次性使用 。例如，光刻膠和顯影劑（交叉污染）， 和SC-1和SC-2（HCl + NH4OH）， 產生 NH4Cl， 危險的吸入風險。

*Laurell塗膠顯影系列產品型號簡介：