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美國NXQ紫外掩膜光刻機

型號︰ NXQ 4000系列
品牌︰ NXQ
原產地︰美國
單價︰CNY ¥ 2000000 / 台
最少訂量︰1 台

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產品描述

一、美國NXQ紫外掩膜光刻機 產品概述

NXQ MASK ALIGNER光刻機分為半自動和全自動兩大系列。其中,NXQ4000系列光刻機是以半自動系統為主。該系統優越的操作性,超高的分辨率,均勻的光學系統,穩定的接近式和接觸式光刻及超高的性價比,使NXQ光刻系統已經被全國各地眾多 企業、研發中心、研究所和高校採用。

二、美國NXQ紫外掩膜光刻機 技術參數:

1、芯片尺寸:5mm~150mm的圓片/方片和不規則碎片(支持對不規則碎片的特殊卡盤設計);

2、曝光波長:350nm-450nm(其它波長可選配);

3、汞燈功率:350W/500W(其它功率可選配);

4、分辨率:優于0.5um;

5、曝光模式:支持接近式曝光,各種接觸式(真空接觸、軟接觸、硬接觸等)曝光;

6、出射光強範圍:10mW/cm2~55mW/cm2@405nm;

7、支持恆定光強或恆定功率模式;

8、曝光時間:0.1~999.9s;

9、對準精度:雙高清彩色CCD + 雙高清彩色監視器,對準精度可達到0.4微米內;

10、掩膜尺寸:2 x 2英吋到 9 x 9英吋(2 x 2英吋需要掩膜轉換器);

11、光強均勻性Uniformity:

<±1% over 2" 區域;

<±2% over 4" 區域;

<±3% over 6" 區域;

12、雙面光刻:具備背面紅外對準(IR BSA)和光學背面對準(OBS BSA),雙面對準精度≤2μm;

13、電源:高靈敏度光強可控電源。

14、可選型號:

NXQ400-6  、NXQ400-8、NXQ800-6、NXQ8006 Sapphire、NXQ800-8 。

三、產品特點:

1、可選支持單面對準和雙面對準設計;

2、高清晰彩色雙CCD鏡頭採用 的分裂視場顯微鏡鏡頭(基於無限遠修正的CCD鏡頭設計);

3、雙頭高清全彩物鏡(單視場或分裂視場可供用戶靈活選擇);

4、高清彩色雙顯示屏;

5、全新氣動軸承導軌設計,高 ,低磨損,無需售后維護的;

6、具有自動執行楔形誤差補償,並在找平后自動定位功能;

7、操作簡易,具有支持多操作員同台使用的友好操作界面;

8、操控手柄調控模式的*設計;

9、採用LED穿透物鏡照明技術,具有 的對準亮度;

10、採用基於無限遠修正的顯微鏡鏡頭架構;

11、抗衍射反射的高效光學光路設計;

12、帶安全保護功能的溫度和氣流傳感器;

13、全景准直透鏡光線偏差半角:<1.84度;

14、設備穩定性,耐用性超高;

付款方式︰TT
售后服務︰提供上門安裝、培訓使用
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