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德國POLOS勻膠旋塗儀

型號︰SPIN150i
品牌︰POLOS
原產地︰德國
單價︰CNY ¥ 75000 / 台
最少訂量︰1 台

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產品描述

一、德國POLOS勻膠機 SPIN150i 產品特點和技術參數:

1、結構:

(1)旋塗腔體直徑為202毫米,適用於小尺寸碎片至160 mm 直徑圓片或 4" x 4" 方片;

(2)NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蝕結構為整個系統提供更好的剛性和韌性;

(3)旋塗腔室材質為NPP(天然聚丙烯),特殊應用可選用高耐化學性的PTFE(TFM™);

(4)高品質無縫製造表面,全工程塑料;

(5)機身尺寸為:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm,適用於通風廚和手套箱使用;

2、數字電機控制:

(1)具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋;

(2)允許具有廣氾旋轉速度參數的用戶以更安靜的方式進行工作/實驗,系統高速運行時更穩定,振動更少;

(3)提供高性能無刷電機,有着高精度的轉速(±0.1 rpm)和寬範圍的轉速(1至12,000 rpm),這是傳統PID電機控制器無法實現的;

3、程序配方數目存儲不設限,可用於多個步驟的配方,每個配方均適用於:

(1)旋塗時間:0.1至99999秒/步;

(2)旋塗轉速:0至12,000 rpm;

(3)旋轉方向:順時針,逆時針,順、逆時針交換攪動;

(4)旋塗加速度:1至30,000 rpm / sec(每步可選);

(5)真空:開/關;

(6)3個可編程的干觸點:例如用於分配單元,氮氣擴散器等的自動控制;

4、設備控制器:

(1)可拆卸的全尺寸觸摸屏,手套防護,IP 52,耐化學腐蝕;

(2)彩色觸摸屏顯示,可輕鬆編程速度,加速度和時間;

5、安全聯鎖:

(1)Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定,並且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開;

(2)電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉,而真空聯鎖(可編程)在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉,防止傷害使用者並避免基材破裂;

(3)具有國際CE標誌和過載保護的電氣安全;

6、透明蓋:

(1)透明蓋清晰可見內部,帶有注射器支架和N2擴散器,可手動分配注膠以及在處理過程中進行N2吹掃;

(2)注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學物質;

(3)控制室環境對於恆定的過程結果至關重要;

(4)堅固的自彈式蓋鉸鏈,可自動將蓋保持在**狀態,以便輕鬆搬運和卸下基板,同時確保蓋子上的殘留化學物質都流入系統排水口;

7、連接:

(1)三個可編程繼電器輸出,可用於操作自動分配系統,外部閥或其他附件。

(2)多種chuck可供選擇,適用用於不同尺寸的基板。

8、USB端口:可輕鬆上傳和下載配方以及更新軟件版本;

9、存儲:結構化和受密碼保護的方案存儲,可輕鬆安全地進行管理;

10、配套真空泵系統:無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;


二、德國POLOS勻膠機 SPIN150i 應用領域:

1、適應于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備;

2、半導體芯片製造;

3、MEMS製版的表面塗覆;

付款方式︰TT
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